一区二区三区乱码无字幕中文字幕一区二区三区的国产黄片第一区二区三区国产高清精品一区二区三区国产免费AV片在线观看麻豆_久久久久久精品无码影院水牛影视亚洲日韩国产精品久久无码综合_AV天堂午夜精品一区||www.lgwen.cn,AAAAA级少妇高潮大片-人人妻人人澡人人爽人人dvd-韩国乱码伦视频免费-性色av人妻无码一区-国产69精品久久久久孕妇||www.bqag.cn ,欧美午夜理伦三级在线观看,欧美精品VIDEOSEX极品,欧美成人在线视频,性XXXX欧美老妇胖老太性多毛,欧美高清性XXXXHDVIDEOSEX,高清欧美性猛交XXXX黑人猛交,国产日韩欧美,欧美人与性囗牲恔配,亚洲M码 欧洲S码SSS222,欧美日韩免费观看,欧美老熟妇又粗又大,欧美人妻日韩精品,欧美精品一区二区,欧美日韩精品,欧美日韩一区,欧美裸体XXXX极品少妇||www.e112o4.cn ,蒙古女人一级毛片毛片国产精品完整版-亚洲国产成人欧美激情-国产伦一区二区三区高清-国产美女视频一区二区三区-国产日本久久久久久久久婷婷-国产精品亚洲欧美||www.ipages.cn

　　近日，中國(guó)科學(xué)院微電子研究所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心在傳感器晶圓級(jí)鍵合封裝技術(shù)研發(fā)領(lǐng)域取得新進(jìn)展，其針對(duì)三軸加速度傳感器所開(kāi)發(fā)的8英寸Al-Ge共晶圓片級(jí)封裝技術(shù)（WLP）以及配套的減薄和劃片技術(shù)已通過(guò)質(zhì)量體系考核，采用該系列技術(shù)的T4型三軸加速度產(chǎn)品已上市銷售。

　　MEMS器件與傳統(tǒng)IC器件相比，往往具有脆弱的可動(dòng)結(jié)構(gòu)，因此需要在MEMS器件劃片與測(cè)試前將其保護(hù)起來(lái)。WLP技術(shù)在大大降低器件尺寸與成本的同時(shí)，還可有效地提高器件生產(chǎn)良率與可靠性，因此針對(duì)MEMS器件的WLP技術(shù)已成為科技界與工業(yè)界的關(guān)注熱點(diǎn)。MEMS器件的WLP技術(shù)不僅需要提供必需的焊盤引出外，還要擔(dān)負(fù)起為器件可動(dòng)結(jié)構(gòu)提供適當(dāng)?shù)臍饷芑蛘婵盏裙ぷ鳝h(huán)境的任務(wù)，因此相對(duì)傳統(tǒng)IC，MEMS對(duì)WLP技術(shù)提出更高的技術(shù)挑戰(zhàn)。

　　集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心與國(guó)內(nèi)公司共同建立了微電子所晶圓鍵合聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，致力于MEMS器件的晶圓級(jí)鍵合封裝技術(shù)的開(kāi)發(fā)。該實(shí)驗(yàn)室開(kāi)發(fā)的第一套Al-Ge晶圓鍵合封裝技術(shù)的鍵合環(huán)寬度僅有70um，其鍵合強(qiáng)度已超過(guò)70MPa、漏率小于5.0x10-3Pa·cm3/s（圖1和圖2分別為劃片前的晶圓照片和切割后的產(chǎn)品照片），該產(chǎn)品FT成品率（如圖3所示）優(yōu)于97%，與國(guó)際知名半導(dǎo)體代工廠所生產(chǎn)的同類產(chǎn)品指標(biāo)相當(dāng)，達(dá)到國(guó)際一流水平。

　　完成代工后產(chǎn)出晶圓照片

　　最終切割后產(chǎn)品照片以及紅外、X-SEM 

　　轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明來(lái)源：賽斯維傳感器網(wǎng)（www.nruycgko.cn）