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- 東北師范大學(xué)在氣體傳感器研究領(lǐng)域取得重要進(jìn)展
- 來(lái)源：賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2013/5/24
近期，東北師范大學(xué)物理學(xué)院劉益春教授研究團(tuán)隊(duì)湯慶鑫教授課題組在氣體傳感器研究領(lǐng)域取得重要進(jìn)展，構(gòu)筑了一種新型的具有高靈敏度、低檢測(cè)下限、快速響應(yīng)及完全恢復(fù)特性的室溫工作的SO2傳感器。
在氣體傳感器研究領(lǐng)域，通過(guò)廉價(jià)的半導(dǎo)體傳感器檢測(cè)低濃度的SO2一直存在著很大挑戰(zhàn)。該課題組利用場(chǎng)效應(yīng)晶體管電流集中在極薄導(dǎo)電溝道層的特點(diǎn)，采用新型空氣間隙絕緣層酞菁銅微納單晶場(chǎng)效應(yīng)晶體管作為SO2傳感器，將場(chǎng)效應(yīng)晶體管最敏感的導(dǎo)電溝道層直接暴露于SO2中，在國(guó)際上首次實(shí)現(xiàn)了0.5 ppm量級(jí)SO2的半導(dǎo)體器件室溫高靈敏檢測(cè)，分辨率達(dá)100 ppb，可滿足SO2測(cè)試實(shí)用化的要求，為新型實(shí)用化SO2傳感器研究提供了全新的思路。
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